IP10K– O Polidor de Feixe de Íons da Coxem
O IP-10K é o polidor de feixe de íons atualizado da COXEM, equipado com várias opções, incluindo fresamento plano, estágio de resfriamento e módulo de proteção de ar, garantindo desempenho e versatilidade aprimorados para uma ampla gama de aplicações. Ele oferece capacidades inigualáveis para fresamento de precisão de materiais em níveis de microescala, proporcionando limpeza e precisão excepcionais.
Tensão de aceleração de íons | 2 a 8kV |
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Velocidade de moagem | 1.000um/h (a 8kV em pastilha de Si) |
Exemplo de ângulo de balanço do palco | ±35° |
Tamanho máximo da amostra | 20(L) × 10(C) × 5,5(E)mm
16 (L) × 10 (P) × 9,5 (A) mm |
Faixa de movimento do espécime | Movimento do eixo X: 士3,5 mm
Movimento do eixo Y: 士2mm |
Faixa de ângulo de inclinação da mesa de fresagem plana | 10° a 90° |
Tamanho da amostra para fresamento plano | Ø32 × 18(A)mm |
Operação | Painel de toque de 7 polegadas |
Microscópio digital para posicionamento de amostra | Magnética 5x, 10x, 20x, 40x |
Câmera de câmara para monitoramento | Magnética 5x, 10x, 20x, 40x
Brilho ajustável em 4 etapas Modo de observação do feixe de íons (LED desligado) |
Gás usado | Gás argônio (99,999%) |
Pressão do gás | 0,03 MPa ~ 0,05 MPa |
Controle de fluxo de gás | Unidade de controle de fluxo de massa |
Sistemas de vácuo | Bomba turbo, Bomba de diafragma |
Dimensão | 640 (L) × 492 (P) × 282 (465) (A) mm |
Peso | Sistema principal 45 kg / Bomba de diafragma 6,5 kg |
Opções | Módulo de proteção de ar, Módulo de resfriamento, Fresamento plano |
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