SPT-20 – O Ion Sputter Coater da Coxem
O Ion Sputter Coater, SPT-20, é um dispositivo usado para revestir materiais condutores (Au, Pt, Pd, Pt-Pd) nas superfícies da amostra usando o princípio de pulverização catódica DC. Amostras não condutoras também são usadas para observação em microscópios eletrônicos, e são usadas para proteger as superfícies da amostra do feixe de elétrons injetado e para ajudar o fluxo de elétrons. Ele pode ser usado como uma formação de eletrodo do tipo filme fino também.
- Revestidor de íons digitais
- Revestimento a vácuo. Sistema de revestimento de um toque até a pressão normal
- Revestimento estável com função de feedback de corrente de revestimento
- Pode ser usado com vários alvos de metal
- Utiliza bomba rotativa de baixo ruído
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